LSI歩留り改善テストシミュレーション

対策

集積回路(LSI)におけるウエハーテスト・ファイナルテストでの歩留り低下対策のために、原因特定を高精度化する故障解析技術の開発に「NaU DSP」が用いられました。

効果

不良解析技術者の業務ノウハウをルールベース化し、故障原因の推定機能を実現。
歩留り低下ロット(製造ライン)で使用されたテストデータから故障原因の推定と対策を提示。